■激光器:IR/Green/UV Laser;
■兼容8寸/12寸晶圓;
■Wafer Mapping全自動(dòng)上下料倉;
■雙臂負(fù)壓機(jī)械手臂精密定位;
■自主開發(fā)軟件控制系統(tǒng),方便系統(tǒng)管理和升級(jí);
■條形碼、?維碼、圖形、?字等自動(dòng)設(shè)置;
■?持PLT、PCX、DXF、BMP等?件格式;
■?動(dòng)編碼,打印序列號(hào)、批號(hào)、?期等;
■與客戶MES/SECS/GEM信息管理系統(tǒng)無縫對(duì)接。